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半導(dǎo)體射頻電源是專為半導(dǎo)體與泛半導(dǎo)體領(lǐng)域、醫(yī)療設(shè)備以及工業(yè)領(lǐng)域等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的高頻電源設(shè)備。其本質(zhì)是等離子體配套電源，在低壓或常壓下產(chǎn)生等離子體，并利用等離子體不同的化學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備(PVD、PECVD、刻蝕、離子注入清洗)、LED、光伏、醫(yī)療等領(lǐng)域。
DQRF-3-13.56產(chǎn)品為全固態(tài)半導(dǎo)體射頻電源，采用新型功率半導(dǎo)體器件，具有穩(wěn)定可靠的功率放大器和功率合成技術(shù)。工作頻率為13.56MHz，額定功率為3KW，主要應(yīng)用包括射頻濺射，離子刻蝕，射頻偏置，等離子體表面處理和電感耦合等離子體系統(tǒng)等。